雪花清洗(液態(tài)二氧化碳清洗)是一種干式清洗方式,利用液態(tài)二氧化碳的特性和性能進行半導(dǎo)體零部件表面處理。在常壓下,二氧化碳是一種氣體,但在恒定壓力下冷卻并且達到臨界溫度時,會變成無色、無味、無毒、非易燃的液體。因此,液態(tài)二氧化碳清洗可以替代傳統(tǒng)的有機溶劑清洗,因為它不會殘留任何有機化合物或其他污染物,并且可以更加高效地去除各種表面污垢和雜物。