半導(dǎo)體工件表面油污處理
半導(dǎo)體工件表面油污處理的方法包括:
用液態(tài)二氧化碳設(shè)備清洗。
1. 預(yù)處理:在進(jìn)行半導(dǎo)體工件表面油污處理前,先使用專用設(shè)備對(duì)工件表面進(jìn)行預(yù)處理,以去除表面的附著物,有利于后續(xù)清洗劑更好地滲透到工件表面,發(fā)揮出更好的去油污效果。
2. 前處理:將半導(dǎo)體工件表面朝上放置,使用銅刷輕輕刷洗工件表面,去除表面的浮塵和細(xì)小顆粒。然后使用高壓水槍將工件表面沖洗干凈,確保工件表面干凈無(wú)殘留物。
3. 處理劑涂抹:將一定比例的處理劑均勻涂抹在半導(dǎo)體工件表面,使處理劑充分滲透到工件表面,與油污發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
4. 超聲波清洗:將涂抹了處理劑的半導(dǎo)體工件放入超聲波清洗機(jī)中,加入適量的清洗劑,在超聲波的作用下,清洗劑能夠迅速滲透到工件表面,有效去除油污。
5. 漂洗和脫水:使用清水將半導(dǎo)體工件表面的清洗劑沖洗干凈,然后使用離心機(jī)將工件表面的水分甩干,確保工件表面干燥。
6. 熱風(fēng)烘干:使用熱風(fēng)機(jī)對(duì)半導(dǎo)體工件進(jìn)行烘干處理,以去除工件表面的水分,避免后續(xù)使用中出現(xiàn)銹蝕等問(wèn)題。
以上步驟僅供參考,具體的處理方法需要根據(jù)污染物的種類和嚴(yán)重程度來(lái)選擇。如果需要更多信息,建議咨詢專業(yè)人士。